真空泵漏率和極限壓力的關系

來源：上海民泉   發布日期：2012/10/22

    真空泵的漏率與極限壓力有直接關系，在極限壓力下運轉的真空泵中，它的氣體狀態已接近分子流，氣體的分子自由程較大，氣體分子不易穿透轉子與各相關零部件之間的間隙，也就是說此時間隙對極限壓力的影響已極其微小，能影響極限壓力的因素就只有漏率了。所謂真空泵達到了極限壓力，就是滲漏進入真空泵的氣體與真空泵抽出的氣體達到了動態平衡，進入了相對穩定狀態。 如2xz型旋片真空泵，當壓力為0.06Pa時，其抽氣量和漏氣量達到動態平衡，所以2xz旋片式真空泵極限壓力為0.06Pa。